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日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR 系列通過低溫區(qū)域的泵體均熱化,在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
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日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR 系列
日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR 系列
特點
低溫區(qū)域均熱化(LR系列)
在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構,非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉狀態(tài)相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信,則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。
用途
成膜裝置(濺射裝置/蒸鍍裝置等)
縮短備料下料室的排氣時間
作為輔助排氣泵(渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣)
池田屋實業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年,位于廣東省深圳市,是一家從事中日貿易的企業(yè)。
公司經過多年的發(fā)展,已整合多方海外廠商渠道,有穩(wěn)定的合作關系,為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務。
池田屋主要經營日本科學儀器設備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設備、光學設備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產品。
公司擁有專業(yè)的銷售團隊、技術團隊、資深的管理團隊,通過全體員工的不懈努力,憑借在工業(yè)品領域的專業(yè)水平和成熟技術,
服務于電子消費類、半導體,液晶光電,汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強企業(yè)。
型號 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
最大 排氣速度 | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
到達壓力 | 5.0 Pa | |||||
最大排氣壓力 (吸入圧力) | 大氣壓 | |||||
最大排氣口壓力 (排出圧力) | 1~ 大氣壓 Pa | |||||
吸氣口 (CE規(guī)格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
排氣口 | KF40 | VG50 | ||||
質量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
電源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) | |||
電流值 | 穩(wěn)定時 | 6.9 A (at 200V) | 11.2 A (at 200V) | 18.9 A (at 200V) | 20.8 A (at 200V) | |
最大值 | 7.3 A (at 200V) | 11.8 A (at 200V) | 20.6 A (at 200V) | 48.5 A (at 200V) | ||
冷卻水一次壓力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||
冷卻水出入口壓差 | >0.1 MPa | >0.2 MPa | ||||
冷卻水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | ||||
吹掃氣 | 一次壓力 | 0.1~0.5 MPa | ||||
二次壓力 | 0.05~0.1 MPa | |||||
氮氣吹掃 | 軸 | 5 SLM | ||||
氣鎮(zhèn) | 0~45 SLM | 沒有 | 0~45 SLM |
型號 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T (TT) | LR3601-R | LR3601-TR (TTR) | |
使用泵 | 干式 真空泵 | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T |
機械 增壓泵 | PRC-03A | PRC-06A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C (-T) | PRC-036D | PRC-036D (D-T) | |
最大 排氣 速度 | 50Hz | 359 m3/h (5,980 L/min) | 653 m3/h (10,900 L/min) | 1,012 m3/h (16,900 L/min) | 1,701 m3/h (28,350 L/min) | 3,200 m3/h(53,333 L/min) | |||
60Hz | 365 m3/h (6,080 L/min) | 701 m3/h (11,700 L/min) | 1,051 m3/h (17,500 L/min) | 1,784 m3/h (29,700 L/min) | |||||
到達壓力 | 0.67 Pa | ||||||||
最大排氣壓力 (吸入圧力) | 大氣壓 | ||||||||
最大排氣口壓力 (排出圧力) | 1~ 大氣壓 Pa | ||||||||
吸氣口 (CE規(guī)格) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | |||||
排氣口 | KF40 | KF50 | |||||||
MBP表面處理 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | × | T:× TT:× | × | TR:× TTR:〇 | |
質量 | 275 kg | 370 kg | 420 kg | 545 kg | 660 kg | 720 kg | 660 kg | 720 kg | |
電源 *2 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz) | ||||||
電流值 | 穩(wěn)定時 | 7.0 A (at 200V) | 12.3 A (at 200V) | 13.7 A (at 200V) | 21.4 A (at 200V) | 31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | ||
最大值 | 9.6 A (at 200V) | 19.0 A (at 200V) | 24.2 A (at 200V) | 39.8 A (at 200V) | 58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | |||
冷卻水 一次壓力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | |||||||
冷卻水 出入口壓差 | >0.1 MPa | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||||
冷卻水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | |||||||
吹掃氣 | 一次 壓力 | 0.1~0.5 MPa | |||||||
二次 壓力 | 0.05~0.1 MPa | ||||||||
N2 吹掃 | 軸 | 5 SLM | |||||||
氣鎮(zhèn) | 0~45 SLM | 沒有 *3 | 0~45 SLM | 沒有 *3 | 0~45 SLM |
池田屋實業(yè)(深圳)有限公司
17503077078
深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷7號3層
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