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現(xiàn)貨供應(yīng) ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵

現(xiàn)貨供應(yīng) ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵
通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

  • 更新時(shí)間：2024-05-29
  • 產(chǎn)品型號(hào)：HR1200
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：257
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產(chǎn)品詳情

現(xiàn)貨供應(yīng) ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 

現(xiàn)貨供應(yīng) ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 


特點(diǎn)

高溫區(qū)域均熱化

實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。

UR系列可比HR系列更加高溫化。

氦氣密封

通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

瞬停對(duì)策

采取了1000msec以?xún)?nèi)瞬停對(duì)策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專(zhuān)用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。


用途

CVD裝置

蝕刻裝置

灰化裝置

ALD、ALH 等



規(guī)格

型號(hào)HR60HR90HR300HR600HR1200
使用泵干式真空泵HR60HR90HR60HR90HR90
機(jī)械增壓泵--PRC-003APRC-006APRC-012A
最大
排氣速度		50Hzm3/h
(L/min)		62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
60Hzm3/h
(L/min)		80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
到達(dá)壓力Pa50.67
最大排氣壓力
（吸入圧力）
大氣壓 *1
最大排氣壓力
（吸入圧力）		Pa1~ 大氣壓
吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG80(KF80)VG100(KF100)
排氣口KF40
質(zhì)量kg180245275370420
電源三相VAC
(Hz)		200(50/60), 220(60)
電流值穩(wěn)定時(shí)A7.1
(at 200V)		11.2
(at 200V)		7.8
(at 200V)		12.9
(at 200V)		15.4
(at 200V)
最大值A7.3
(at 200V)		11.8
(at 200V)		8.1
(at 200V)		13.8
(at 200V)		18.9
(at 200V)
冷卻水一次圧力MPa0.1~0.3
冷卻水出入口壓差MPa>0.1
冷卻水流量L/min>5.0
吹掃氣一次壓力MPa0.1~0.5
二次壓力MPa0.05~0.1
N2吹掃軸SLM5
氣鎮(zhèn)SLM0~45



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