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ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 GR 系列

ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 GR 系列
干泵GR系列是以獲得良好業(yè)績(jī)和信賴的LR/HR系列為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的泵。

  • 更新時(shí)間：2024-05-29
  • 產(chǎn)品型號(hào)：GR60A
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 訪  問(wèn)  量：266
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產(chǎn)品詳情

ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 GR 系列

ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 GR 系列


特點(diǎn)

可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域，可在高負(fù)荷下持續(xù)使用。

適用load lock室（裝載/卸載室），可實(shí)現(xiàn)高吞吐量。

感應(yīng)電機(jī)可通用

可以安裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)（可選）

采用多電壓兼容電機(jī)

用途

空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣

各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣

真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)

真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充



規(guī)格

型號(hào)GR60AGR90AGR180A
最大排氣速度50Hzm3/h(L/min)62(1030)112(1030)183(3100)
60Hzm3/h(L/min)80(1333)126(2100)237(3850)
極限壓力 *1Pa5.0
最大排氣壓力（吸入圧力）大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）Pa1.0 ~ 大氣壓
吸氣口VG50VG80
排氣口NW40
DRP表面處理〇
電機(jī)輸出 [kW]2.23.77.5
電壓 [V]50Hz200~240/380~415
60Hz200~240/380~460
質(zhì)量kg128188268
冷卻方式冷卻水
一次供給壓力		MPa0.1~0.3
冷卻水
出入口壓差		MPa>0.1
冷卻水溫度℃10~30 *2
冷卻水流量L/min>5.0
氮?dú)?/td>一次側(cè)
供給圧力		MPa0.1~0.5
二次側(cè)
調(diào)整圧力 *3		MPa0.05 to 0.1 (運(yùn)作時(shí))
軸SLM5.0 *4

*1 極限壓力是氮?dú)猓ㄝS封氣體）為5.0 SLM時(shí)的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過(guò)調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計(jì)值。
*4 氮?dú)猓ㄝS封氣體）的流量固定為5.0SLM。



配件

型號(hào)材質(zhì)表面處理重量(kg)法蘭接口GR60AGR90AGR180A
消音器RS-01+
套件A		SUS304GBB處理4.1KF40〇〇-
RS-01+
套件C		SUS304GBB處理8.3KF40--〇


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