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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空泵

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空泵
通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵

  • 更新時(shí)間：2024-05-29
  • 產(chǎn)品型號：UR600
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 訪  問  量：242
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產(chǎn)品詳情

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空泵

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空泵


特點(diǎn)

高溫區(qū)域均熱化

實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。

UR系列可比HR系列更加高溫化。

氦氣密封

通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

瞬停對策

采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。


用途

CVD裝置

蝕刻裝置

灰化裝置

ALD、ALH 等



規(guī)格

型號UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
機(jī)械增壓泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大
排氣速度		50Hz410 m3/h
(6833 L/min)		653 m3/h
(10883 L/min)		1012 m3/h
(16867 L/min)		1701 m3/h
(28350 L/min)		2700 m3/h
(45000 L/min)
到達(dá)壓力
5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）大氣壓
最大排氣口壓力
（排出圧力）		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排氣口VG50
NW40
NW50
質(zhì)量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
電源 *2三相180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)		200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時(shí)23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)		39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)		68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa
冷卻水流量>5.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 Mpa
二次壓力0.05~0.1 Mpa
N2吹掃軸5 SLM
氣鎮(zhèn)0~195 SLM0~45 SLM0~195 SLM0~195 SLM


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