PRODUCT CLASSIFICATION
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產(chǎn)品中心/ products
ULVAC愛(ài)發(fā)科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過(guò)螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合,使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。在4種機(jī)型中,您可根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。
聯(lián)系電話:17503077078
ULVAC愛(ài)發(fā)科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵
ULVAC愛(ài)發(fā)科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵
特點(diǎn)
大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h,與以往的真空泵相比,排氣時(shí)間可縮短約20%。
■標(biāo)配的專(zhuān)用消音器能解決干式真空泵的噪音問(wèn)題。極限壓力時(shí)的噪音值在61dB(A)以下,
這是一個(gè)在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中也不會(huì)打擾到您的噪音等級(jí)(*1))
■C規(guī)格標(biāo)配的ECO-SHOCK技術(shù)是一種省電的愛(ài)發(fā)科技術(shù)。
該技術(shù)可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下(*2)
■LS系列無(wú)需軸封氣體。以氮?dú)夂涂諝獾鹊呐艢鉃橹鞯那鍧嵐に嚳山档瓦\(yùn)行成本
用途
LS系列有兩種規(guī)格。
首先是面向清潔工藝的規(guī)格。
為內(nèi)置ECO-SHOCK的低功耗型,適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來(lái)說(shuō),包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。
其次是面向輕工藝的規(guī)格。
具有表面處理和凈化功能,適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來(lái)說(shuō)諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。
規(guī)格
型號(hào) | (C:C式樣) (L:L式樣) | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | ||||
C | L | C | L | C | L | C | L | ||
最大排氣速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | ||||
到達(dá)壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | ||||||
電源電壓 | 200V級(jí):3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級(jí):3相、50/60Hz、AC380-480V | ||||||||
消費(fèi)電力 概略值 *1 | kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 |
冷卻水量 | L/min | >2.0 | >4.0 | ||||||
Purge gas 量 *2 | SLM | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 |
最大水蒸氣 處理量 *3 | kg/h | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 |
噪音值*1 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | ||||
吸氣口 | KF50(水平)/ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |||||
排氣口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | |||||
質(zhì)量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | ||||
適用規(guī)格 | CE、cTUVus | ||||||||
標(biāo)準(zhǔn)附屬品 | 電源用連接器、防水電纜夾、信號(hào)用連接器、電源連接保護(hù)器 | ||||||||
本體選配件 | 電源電壓:200V級(jí)或400V級(jí)、密封部材質(zhì):全氟彈性體(僅用于L型) |
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