神港精機(jī)SHINKO SEIKI --ICP金屬蝕刻設(shè)備

這是以納米壓印模具用ICP蝕刻系統(tǒng)“SERIO"的基本結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，
針對(duì)金屬定制了腔室內(nèi)部結(jié)構(gòu)和氣體系統(tǒng)的最新蝕刻系統(tǒng)。
兼容最新的半導(dǎo)體和MEMS工藝，我們實(shí)現(xiàn)了Al和Cr的納米級(jí)線(xiàn)寬蝕刻。

與傳統(tǒng)的SERIO相比，它可以蝕刻廣泛的基材和應(yīng)用，包括除
Si晶圓之外的基材、藍(lán)寶石和GaAs等化合物半導(dǎo)體晶圓、光掩模用玻璃和石英。

與8英寸晶圓兼容的裝載鎖定類(lèi)型是標(biāo)準(zhǔn)配置，并且可以根據(jù)工藝進(jìn)行定制，例如加熱臺(tái)和更大的腔室。

與經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的多室系統(tǒng)相結(jié)合，可以非常輕松地部署到全面的大規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用中。

配備多個(gè)蝕刻室和一個(gè)SWP灰化室，可以實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量、一致的金屬膜蝕刻工藝。

我們使用我們的內(nèi)部演示機(jī)進(jìn)行過(guò)程測(cè)試，提供好的硬件和軟件來(lái)滿(mǎn)足您的需求。

我們?yōu)榘雽?dǎo)體、MEMS、光掩模、高頻器件、光子器件等從工藝開(kāi)發(fā)到量產(chǎn)提供可靠的支持。